掲載日：2025.10.28
高精度な絶対反射率測定が可能にした膜厚計
大塚電子株式会社 顕微分光膜厚計 OPTM series
OPTM(オプティム)は、顕微分光光学系を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや、多層膜を非破壊・非接触で測定できます。
測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また、簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを標準で搭載しています。
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主な特長
- 膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約
- 顕微分光で高精度な絶対反射率測定（多層膜厚、光学定数）
- 1ポイント最速1秒以内の高速測定
- 顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系（紫外～近赤外）
- 初めての方でも光学定数解析が可能な楽々解析ウイザード
- 測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能搭載
- 複雑な光学定数も解析可能（複数点解析法）
- エリアセンサーによる安全機構
- 各種カスタマイズに対応
