掲載日：2025.10.28
生産ラインにおいて高速でリアルタイムのモニタリングが可能
大塚電子株式会社 MCPD series インラインフィルム評価システム
MCPD seriesインラインフィルム評価システムは、光学式のため非接触・非破壊での膜厚、濃度、色などの検査が可能です。
測定可能膜厚範囲は、65nm～92μm（屈折率1.5）と薄膜から厚膜まで対応しております。
測定原理は分光干渉方式のため、高い測定再現性を実現しつつ多層厚み測定にも対応しております。独自アルゴリズムの採用により高速でリアルタイムにモニタリングが可能なため、インラインフィルムモニターとして用途に応じた最適なシステムをご提案いたします。
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主な特長
- プロセス中の膜厚、濃度、色などの高速測定に最適
- 最短露光時間1ms～ ※仕様による
- リモート測定に対応
- 膜厚測定範囲65nm～92μm（SiO2換算）
