掲載日：2025.8.7
最大500 kHz、2.5 kWの高周波繰り返しパルスを発生させる電源です。プラズマなどの応用に適しています。
ネクスファイ・テクノロジー（株） 高周波パルス電源
独自の技術でパワーデバイスであるSiC半導体の応用製品として、500kHz、±10kVの高電圧・高周波を発生する電源のラインナップを揃えました。
主な特長
独自の技術でパルストランスを開発、高電圧・高周波パルスを実現しました。
- 最大出力電圧 ：±10 kV ※1
- 最大繰り返し周波数 ：100 kHz～500 kHz
- 電源電力： 1.0 kW～2.5 kW
- 入力電圧： 三相AC 200 V (50/60 Hz)
※1 負荷条件に依存します
詳細仕様についてはお問い合わせください。
主な用途
- 大気圧プラズマ
- 液中プラズマ
- 成膜装置
- その他
型番
オプション
多出力の対応も可能です。カスタム仕様につきましてはお気軽にお問い合わせ下さい。
