エーディーシー/ADCMT　微少電流測定の決定版 デジタル・エレクトロメータ 5350

10¹³ Ω以上の高入力インピーダンス電圧測定と、1 fAから20 mAまでの広範囲な電流測定が可能な5½桁の低価格デジタル・エレクトロメータです。

材料の基礎研究、半導体・電子部品の評価試験・選別、新素子の研究・開発、あるいは分析、生体関係など広い用途に使用できます。電圧測定はドライビング・ガード機能を選択することで、高インピーダンス信号源を正確にレスポンス良く測定できます。

測定スピードは最高1,000サンプリング/秒と高スループットを実現し、内部メモリに測定結果を100,000データ保存出来ます。

主な仕様

• ワイド・レンジな電流測定1 fA～20 mA
• 高入力インピーダンス電圧測定：10¹³ Ω以上
• ドライビング・ガードによる高速電圧測定
• 高速測定：最高1,000サンプリング／秒
• データ・メモリ：100,000データ
• 可変積分機能：500 µs～3.2 s
• USB, GPIBインタフェース標準装備

主な特長

1 fAから20 mAまでの広範囲電流測定

最小分解能1 fA からの微少電流測定が可能なため、MOSFET のゲート電流などの半導体リーク電流測定や、光デバイスの暗電流測定に対応できます。また、最大電流測定値は20 mAと広域であるため、小信号トランジスタやダイオードなどのI_B-V_BE、I_C-V_BE 特性の評価にも適しています。

高入力インピーダンス電圧測定

高出力インピーダンスの電圧測定で一般的な電圧計を使用すると、電圧計の入力インピーダンス（10⁹ Ω 程度）が影響し測定値に誤差を与えます。しかし、5350 は10¹³ Ω以上の高入力インピーダンスをもっているため、一般的な電圧計に比べて被測定物の出力インピーダンスの影響が1/10,000 に低減され高確度な測定ができます。

ドライビング・ガードによる高速電圧測定

直流電圧測定では被測定物の出力インピーダンスが大きな場合（100 MΩ 以上）、入力ケーブルの浮遊容量によってレスポンスが遅くなります。5350 は２重シールド構造の入力コネクタ、入力ケーブルを採用することによって内側シールドを5350 の入力電圧と同電位で駆動しています。このドライビング・ガード機能によって、入力ケーブルの中心線と外側シールドの浮遊容量が見かけ上ゼロとなりレスポンスの向上を実現しています。

入力信号を電圧値として外部出力

入力信号を電圧値として機器外部に出力するプリアンプ出力(AMP OUT）とD/A OUT を搭載しています。プリアンプ出力は5350 測定回路の出力電圧をアイソレーションせずに機器外部に出力できます。高インピーダンス電圧測定のときのインピーダンス変換出力器、電流測定のときの電流- 電圧変換出力器として使用することができます。D/A OUT はA/D 変換された測定値を ± 1 V の電圧に換算し、アイソレーションされた信号として出力します。

・プリアンプ出力：電圧測定

プリアンプ出力（AMP OUT）機能により高出力抵抗の電圧信号を劣化させることなく低出力抵抗の電圧信号に変換して出力することができます。
入力抵抗が低い測定器に容易に入力することが可能になります。

・プリアンプ出力：電流測定

プリアンプ出力（AMP OUT）機能によりノイズに弱く、測定系の絶縁抵抗を確保し難い微小電流信号を電圧信号に変換して出力できます。
電圧出力なので他の測定器に容易に入力することが可能になります。

・D/A OUT

D/A OUT機能によりA/D変換された測定値を±1 Vの電圧に換算して出力できます。
出力はアイソレーションされているため、測定部への影響を考える必要なく他の測定器に接続することが出来ます。

可変積分機能搭載

5350 は積分時間を500 μs ～ 3.2 s の間、100 μs 分解能で任意の値に設定可能です。この機能によりパルス状の電圧／電流の平均値を簡単に測定することが出来ます。A/D 変換器自体の積分時間を任意に設定できるため積分時間中の歯抜けのない正確な平均値が測定できます。予め用意された8 種類の積分時間を正面パネルのRATEキーでも簡単に切り換えできるので、用途に合わせて積分時間を選択できます。

大容量メモリと高速サンプリング

5350は内部のデータ・メモリに最大100,000データの測定結果が保存できます。
最高測定スピードは1000回/秒のため、高速に取り込んだ測定データの解析が可能です。

 

アプリケーション

コンデンサの誘電吸収測定に

5350の電圧計は入力インピーダンスが非常に高く、電荷を奪わないため、コンデンサの誘電吸収測定に最適です。

フォトダイオードの電流-電圧特性の評価に

5350の電流計は電圧降下（※１）が小さいためフォトダイオードの並列抵抗測定に最適です。
※１ 電流計の入力誤差(200 μV以下)

光電子増倍管（PMT）の電流測定に

5350は1fA〜20 mAと電流測定範囲が広いので光電子増倍管の出力電流測定に最適です。
アナログ出力により入力電流を電圧変換して出力することもできます。

半導体のリーク電流測定に

CMOSアナログ・スイッチのONリーク電流、OFFリーク電流を正確に測定することが可能です。

推奨アクセサリ：12701A（テスト・フィクスチャ）

※写真はA04501（ダイオード・テスト・ボックス）含む