掲載日：2025.5.30
従来の顕微鏡を超える性能 透体の傷や異物を可視化・定量化
大塚電子（株） 光波動場三次元顕微鏡 MINUK
㎚オーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能で、1ショットで高さ方向の情報が取得でき、非接触・非破壊・非侵襲で測定が可能な顕微鏡です。さらにフォーカス不要で、任意の面を高速でスキャンして測定位置を決定することが可能です。
光波動場三次元顕微鏡 MINUKの詳細は以下をご覧ください。
20250213光波動場三次元顕微鏡MINUK_webセミナー資料_ver.2_配布用_20250402追加
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主な特長
- nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能
- 目視では確認できない透明材料の表面と接合界面を可視化
- 1ショットで瞬時に深さ方向の情報を取得可能
- フォーカス不要で高速測定が可能
- 非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能
