(株)小坂研究所  微細穴三次元形状測定機 型式 FP3030/FP-Labo

掲載日:2021.11.1

 

近年の精密微細加工技術の進歩に伴い、シリコン貫通電極・MEMSなどの微細形状を精密に測定する重要性が高まり、中でも立体的で微細な三次元形状を精密に測定するニーズが増加しています。

直径5um極小径の光ファイバ接触式プローブを用いることにより、10umの穴や溝を有する微細形状を数nmの分解能で測定可能な新商品です。

微細穴三次元形状測定機の詳細はこちらのカタログ(PDF)をご覧ください。

主な特長

・微細穴φ10um~/深さ~300umの穴内部形状を測定、可視化。

・微小な挙動を高精度で検出する画期的な検出系を開発。

・接触による破損から解放される高弾性ファイバスタイラス使用。

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