岩崎通信機/IWATSU　半導体カーブトレーサ CS-8000シリーズ

• 最大5kV、最大2000Aでのハイパワーテスト
• 正確な微小電流測定（最小分解能250fA）
• 大画面12.1インチのタッチスクリーン
• 多彩なGATE信号出力機能
• 充実した温度特性測定オプション
• プローバーでのハイパワーオンウェハテスト

使いやすいUI

12.1インチTFT-LCD（1,280×800）の高精細・大画面ディスプレイ搭載を搭載し、タッチスクリーンによる操作に加え、フロントパネル上のファンクションキー、機能毎に独立したノブで直感的な操作が可能です。

• X-Y表示エリア

任意の電圧/電流パラメータをそれぞれX軸Y軸に設定でき、Vds Id特性、スレッショルド電圧、Vds-Vgs飽和特性等、様々な半導体特性カーブの表示が可能です。また、Y軸に複数のパラメータを設定できます。スケールは、Log/リニアの切り替えが可能です。

• Y-T表示エリア

測定印加波形をオシロスコープのように時間軸で表示します。パルス幅・測定ポイント・発振などの波形異常等をリアルタイムで確認できるので、正確な測定が行えたかの検証を容易に行えます。 全ての印加波形データはX-Y表示のデータと同時に保存できるので、測定結果の再検証を行うことができます。

• 測定データ表示エリア

詳細な測定結果と測定条件、ステータスをテキスト形式で表示します。

• コンフィグレーション設定エリア

デバイスの測定コンフィグレーションを設定します。電圧/電流ユニットの選択や配線変更等をグラフィカルな表示でサポートします

• パラメータ設定エリア

測定パラメータ・測定リミットの設定やマニュアル/自動測定の切り替えなどをこのエリアで行います。

• 操作パネル

正面パネルにボタンとロータリーノブが配置されており、マニュアル測定を簡単に行えます。 中央に配置されたテンキーでは、パラメータの数値入力を行うことができます。 DRAIN/COLLECTOR・GATE/BASE・垂直軸・水平軸ロータリーノブによりマニュアル測定を簡単に行うことができます。

用途に合わせた出力ソース

用途に合わせて測定に必要な電圧・電流ユニットを任意に選択できます。

上段：テストフィクスチャ
下段：ハイカレントユニット

HVユニット

2kV、5kVの高電圧ユニットです。DC/パルス波が選択可能です。定電圧・定電流駆動測定の選択ができます。

MVユニット (全メインユニット共通)

200Vの中電圧ユニットです。定電圧・定電流駆動測定の選択ができます。DC、パルスの他、SIN、半波、全波波形が選択できます。

GATEユニット (全メインユニット共通)

40Vのユニットです。定電圧・定電流駆動測定の選択ができます。DC、パルスの他、SINが選択できます。

HCユニット

大電流モード搭載により、2000Aまでの大電流測定に対応できます。パルス幅、測定周期、測定範囲が可変できます。

最小電流分解能 250 fA

トライアキシャルの採用と測定系の最適化等により、機器内のリークやノイズを低減したため、微小電流の安定した測定が可能です。

多彩なGATE信号出力

GATE信号をシーケンス出力し、印加することができます。

• ホールドタイム可変範囲：0.000[s] ～ 5.000[s]
• 予備信号電圧範囲：GATE側 -40[V] ～ +40[V]

ヒステリシスの測定

CS-8000はヒステリシスを持ったSiCやGaNなどのワイドバンドギャップ半導体の測定に便利な機能を備えています。

ダブルスイープ機能はUPスイープ・DOWNスイープを同時表示するためヒステリシスの観測が可能です。

安全機構

インターロック機能に加え、出力リミット機能を備えています。

電圧・電流・電力、それぞれのリミット値を設定でき、DUTの損傷を防ぐことができます。また、ハードウェアの過電流保護機能により、測定レンジの1.4倍の電流が流れると電流を遮断します。

組み合わせ構成

測定ターゲットの電圧と電流に合わせてHCユニットやフィクスチャを選択できます。

構成例：2 kV、2,000 Aで使用する場合

• メインユニット：CS-8200
• HCユニット：CS-220
• テスト・フィクスチャ：CS-8200
• アクセサリケーブル：
  HV標準ケーブルセット　CS-021
  HC標準ケーブルセット　CS-022