掲載日：2026.9.30
SEMI F47
SEMI F47とは、半導体製造装置が瞬時電圧低下（電圧サグ）に対してどの程度の耐性を持つべきかを定めた、業界団体SEMIの規格のことです。
■技術的な仕組みと特徴
・電源電圧が一定の割合・時間だけ低下した状態でも、装置が停止せずに動作を継続できるかを評価します
・落雷などによる系統の瞬時電圧低下が、製造中のウエハ不良や装置停止につながることを防ぐ目的があります
・電圧を意図的に低下させる試験装置（サグジェネレータ）を用いて試験を行います
■産業・B2B分野での応用
・半導体製造装置メーカーが、顧客である半導体工場の要求に応えるための評価として実施します
・装置のサイズが大きい場合は、設置場所で行うオンサイト試験で対応することもあります
・工場全体の電源品質対策や、停電・瞬停対策の検討にも関わる規格です
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