掲載日：2026.9.11
マイクロマシン技術
マイクロマシン技術とは、機械要素・センサ・アクチュエータ・電子回路などを微細加工技術によりミクロンオーダーで一体化し、微小な機械システムを実現する技術のことです。
■技術的な仕組みと特徴
・半導体製造技術をベースとしたフォトリソグラフィやエッチングなどの微細加工プロセスを応用し、機械構造とセンサ・アクチュエータを同一基板上に集積する
・可動部（梁、振動子、ダイアフラムなど）を微細加工により形成し、加速度・圧力・振動などの物理量を電気信号に変換する
・小型・軽量・低消費電力でありながら、高精度なセンシングが可能な点が特徴
■産業・B2B分野での応用
・ショックレコーダーや加速度センサなど、輸送・産業機械の振動・衝撃計測機器に組み込まれる
・自動車（エアバッグセンサ等）、民生機器（スマートフォンのジャイロセンサ等）、医療機器など幅広い分野で応用される
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