掲載日:2023.7.25
レーザー干渉計
レーザー干渉計とは、レーザー反射光の干渉を利用して、光学部品などの精密部品の表面形状誤差を高精度に測定する装置です。位相が揃ったコヒーレントなレーザー光は、可干渉性に優れるため干渉計の光源としては最適です。この規則正しい光を2つに分け、被測定物に照射し、反射光や透過光の微小な光路差により生じる干渉縞(光の明暗の縞)を解析することで表面形状や測長がでます。
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掲載日:2023.7.25
レーザー干渉計とは、レーザー反射光の干渉を利用して、光学部品などの精密部品の表面形状誤差を高精度に測定する装置です。位相が揃ったコヒーレントなレーザー光は、可干渉性に優れるため干渉計の光源としては最適です。この規則正しい光を2つに分け、被測定物に照射し、反射光や透過光の微小な光路差により生じる干渉縞(光の明暗の縞)を解析することで表面形状や測長がでます。